S-4800是一个真正多用途平台，拥有卓越的高分辨性能、先进的探测技术和友好的用户界面，使它能够精确和清楚地捕捉最短暂的瞬间。 

采用了新型ExB式探测器和电子束减速功能，提高了图像质量，尤其是将低加速电压下的图像质量提高到了新的水平；新型透镜系统，提供了高分辨模式、高束流模式、大工作距离模式、磁性样品模式等多种工作模式，使以往无法实现的工作得以轻松完成。 

特点： 

1.最高达80万倍的放大倍数，高的成像分辨率：1.0nm/15kV，1.4nm/1kV（减速模式）； 

2.拥有电子束减速技术，将1kV下的分辨率提高了30％，不仅减少了电子对样品的损伤还可用于分析浅表面形貌； 

3.优秀的分辨率稳定性； 

4.人性化的用户操作界面，多种透镜模式可供选择。 

技术指标： 

分辨率：1.0nm (15kV) 

2.0nm (1kV) 

1.4nm(1KV)入射电子减速功能 

加速电压：0.5 ~ 30kV，0.1kV/步 

放大倍率：×20 ~×800,000 

束流强度：1pA~2nA 

物镜光栏：加热自清洁式、四孔、可移动物镜光栏 

样品室和样品台： 

移动范围：X：0~50mm；Y：0~5mm；Z：1.5~30mm；T：-5~70°；R：360° 

最大样品尺寸：100mm 

探测器:高位探头可选择接受二次电子像或背散射像，并混合 

扫描模式：TV扫描(扫描速度不低于0.033s/帧)，慢扫描，用于观察和记录 

电子图像移动：±12μm (WD=8mm) 

真空系统： 

真空度：10-7Pa (电子枪)；10-4Pa (样品室) 

X射线能谱仪 

分辨率/有效面积：不低于133eV，30mm2 

联系方式： 

电话：0531-88362321 

E-mail：wuyz@sdu.edu.cn

SE/BSE成像： 

1. 400元/小时； 

2. 每小时限做2个样品，每多一个样品加收100元； 

3. 减速模式每个样品加收100元。 

喷涂导电膜： 

1. 喷铂120元/次； 

2. 喷碳80元/次。 

EDX成分分析： 

1. 300元/样（点、线）； 

2. 500元/样（面）。 

***请注意本室只接收：干燥、非磁性样品***

送样请下载填写”SEM测试送样登记表”，经负责人签字后方可进行测试。 

本收费标准自2009年7月1日起执行 

晶体材料国家重点实验室扫描电镜室 

测试表格下载：晶体所SEM测试送样登记表.doc