1、仪器名称：X射线光电子能谱仪（X-Ray Photoelectron Spectroscopy，简称XPS）

型号：ESCALAB 250    

生产厂家：ThermoFisher SCIENTIFIC    

使用方式：对外开放    

应用领域：材料学,化学，物理，环境，生物，医学…    

2、仪器放置地点

功能晶体材料楼336房间    

3、仪器主要用途

XPS是进行样品表面元素组成及化学态分析的重要实验技术之一，其探测深度在10 nm以内，可检测元素周期表中除H, He以外的几乎所有元素。可做以下几个方面的分析研究：    

（1）对样品表面元素进行定性、定量分析；    

（2）可分析元素的化学状态（包括元素价态、晶格位置和化学环境等）；    

（3）对薄膜样品进行深度分布分析，给出元素随样品深度分布信息；    

（4）对元素及其化学态进行成像，给出不同化学态的不同元素在表面的分布图像。    

4、主要技术指标

（1）最佳能量分辨率£ 0.45 eV；    

（2）最佳空间分辨率£ 3 μm（XPS成像）；    

（3）单色光源最佳灵敏度：1,000,000 cps (AlKα 0.60eV Ag3d5/2峰)；    

（4）分析室最佳真空度可达1.7´10^-10mbar；

（5）离子枪束斑< 150 μm。    

5、送样要求（送样之前，请仔细阅读送样要求！）

（1）样品为非磁性，无腐蚀性；    

（2）样品不吸水，在超高真空中及X光照射下不分解，不释放气体；    

（3）只测固态样品，可测块状、粉末及薄膜样品。    

块状样品：表面要平整，大小不超过3´3´2mm³；

粉末样品：要压成薄片（厚度1mm左右即可）；

薄膜样品：测试面要做好标记。

（4）填写送样单，并导师签字（校内送样）。从科研设备/测试表格处下载XPS送样单。

（5）送样时，将样品和送样单一起送交。并在样品袋上标明送样人姓名及样品编号。    

（6）样品需回收者，请在收到测试结果1周后尽快取样。    

6、收费标准

（1）常规XPS测试：    

300-600元/每个样品，扫描元素个数不同价格不同。    

（2）深度分析XPS：    

在常规XPS收费的基础上，每增加一次溅射/扫谱测试，加收一个样品费用。    

7、联系方式

联系人：蒋贺纯     

E-mail：jianghechun001@126.com 

联系人：段老师    

E-mail:xlduan@sdu.edu.cn   

通讯地址：济南市山大南路27号，山东大学晶体材料研究所（邮编250100）。