职称：教授、博士生导师

邮箱：liuduo@sdu.edu.cn

研究领域：宽带隙半导体晶体材料及器件；高性能MEMS谐振传感器

个人简历

刘铎，男，教授，博士生导师。1973年出生，1995年本科毕业于中国科学技术大学，或材料物理学士学位；1998年获凝聚态物理硕士学位；2004年获美国休斯敦大学材料工程博士学位；2006年至今在山东大学晶体材料国家重点实验室及新一代半导体材料研究院工作。自任职以来承担国家重点研发项目1项，国家自然科学基金重大研究计划项目2项，面上项目4项，参与973计划项目1项。主要从事宽带隙半导体晶体材料及器件，高性能MEMS谐振传感器等研究工作。在Nano Letters, Advanced Optical Materials, Applied Physics Letters等国际期刊发表论文60余篇，多篇论文被媒体及科技网站报道，论文他引2000余次，获授权专利20余项。长期承担国家级及省部级科研项目评审及国际期刊论文评审工作。

学习与工作经历

1995年本科毕业于中国科学技术大学，获材料物理学士学位

1998年获凝聚态物理硕士学位

2004年获美国休斯敦大学材料工程博士学位

2006年至今在山东大学晶体材料国家重点实验室及新一代半导体材料研究院工作

代表性论文、论著

1. W. Zhang, W. Yan, H. Zheng, C. Zhao, D. Liu*, Laser-Engineered Superhydrophobic Polydimethylsiloxane for Highly Efficient Water Manipulation, ACS Appl. Mater. Interfaces, 2021, 13(40), 48163-48170

2. W. Yan, C. Zhao, W. Luo, W. Zhang, X. Li*, and D. Liu*, Optically Guided Pyroelectric Manipulation of Water Droplet on a Superhydrophobic Surface, ACS Appl. Mater. Interfaces 2021, 13, 23181–23190

3. W. Luo, N. Gao, and D. Liu*, Multimode Nonlinear Coupling Induced by Internal Resonance in a Microcantilever Resonator, Nano Lett. 2021, 21, 1062–1067

4. W. Zhang, D. Zhang, W. Yan, W. Luo, C. Zhao, and D. Liu*, Optically Induced Rapid Wetting Transition on Zn-Polar and O Polar Zinc Oxide, Langmuir 2019, 35, 14791−14796

5. S. Zhang, B. Ma, F. Liu, J. Duan, S. Wang, J. Qiu, D. Li, Y. Sang, C. Liu, D. Liu*, H. Liu*, Polylactic Acid Nanopillar Array-Driven Osteogenic Differentiation of Human Adipose-Derived Stem Cells Determined by Pillar Diameter, Nano Letters, 2018, 18(4), 2243-2253

6.W. Zhang, D. Zhang, W. Yan, W. Luo, C. Zhao, and D. Liu*, Optically Induced Rapid Wetting Transition on Zn-Polar and O Polar Zinc Oxide, Langmuir 2019, 35, 14791−14796

7. R. Jia, D. Zhao, L. Zhang, W. Yan, X. Xiu, X. Li, D. Liu*, Distinct Photoinduced Wetting Transitions of Differently Doped GaN: An Indication of Collective Behavior, Journal of Physical Chemistry C, 2018, 122, 24818−24822

8. W. Yan, D. Zhao, L. Zhang, R. Jia, N. Gao, D. Zhang, W. Luo, Y. Li, D. Liu*, Optically induced reversible wettability transition on single crystal lithium niobate surfaces, Applied Physics Letters, 2017, 111, 091603

9. R. Jia, D. Zhao, N. Gao, W. Yan, L. Zhang, D. Liu*, Nanostructured N-polar GaN surfaces and their wetting behaviors, Applied Surface Science, 2017, 412, 559–563

10. N. Gao, D. Zhao, R. Jia, D. Zhang and D. Liu*, Plasmonic Microcantilever with Remarkably Enhanced Photothermal Responses, Scientific Reports, 2017, 7, 4796

11. D. Zhao, X. Lin, R. Jia, N. Gao, and D. Liu*, Plasticity Promoted Band Structure Engineering Achieved by Arrayed Indentation on GaAs Wafers, Advanced Optical Materials, 2016, 4(10), 1601-7

12. R. Jia, G. Lin, D. Zhao, Q. Zhang, X. Lin, N. Gao, D. Liu∗, Sandwich-structured Cu2O photodetectors enhanced by localized surface plasmon resonances, Applied Surface Science, 2015, 332, 340–345

科研项目

1.国家自然科学基金委员会，面上项目，基于氮化镓/等离激元异质超构界面的热电子光电性质研究，2022-01至2026-12，在研，主持

2.山东省联合基金，重点项目，基于模态耦合的MEMS高精度谐振传感方法及器件制作技术研究，2021-01至2024-12，在研，主持

3.科技部，国家重点研发计划课题，2017YFB0405403，微纳机械结构生化传感器研究，2017-07至2021-06，在研，主持

4.国家自然科学基金委员会，面上项目，51472143，缺陷富集型铁电晶体的可控制作及其物理性质研究，2015-01至2018-12，已结题，主持

5.国家自然科学基金委员会，重大研究计划（培育项目），91233122，等离激元结构在提高AlGaInP发光二极管光提取效率中的应用，2013-01至2015-12，已结题，主持

6.国家自然科学基金委员会，重大研究计划（培育项目），91123007，蓝光LED中图形化结构的制备方法及其光电特性研究，2012-01至2014-12，已结题，主持

7.国家自然科学基金委员会，面上项目，60974117，基于微悬臂梁力学传感器的检测方法和识别技术研究，2009-01至2011-12，已结题，主持

8.科技部，国家重大基础研究计划项目，2009CB930500，金属/介质纳米异质结构中的局域耦合效应及其在光电转换器件中的应用，2008-01至2013-08，已结题，参与

9.国家自然科学基金委员会，青年基金项目，50702031，铁电纳米单晶尺度和应力效应的压电探针技术研究，2008-01至2010-12，已结题，主持

其他介绍

1.一种利用正交模态的叠加提高微谐振器品质因子的方法及其实现装，ZL201811569685，第一发明人

2.一种利用表面聚焦热效应的PDMS超疏水表面的制备方法，ZL201911242221.9，第一发明人

3.基于热释电效应无损失移取微量液滴的移液器的制备方法，ZL201910212570.X，第一发明人

4.一种基于热释电效应调控液滴在固体表面润湿性可逆转变以及进行移动和弹跳的方法，ZL201811625307.5，第一发明人

5.一种利用光热效应实现微悬臂梁共振频率调谐的方法、实现系统及应用，ZL201810946985.5， 第一发明人

6.一种利用半导体极性场提高热电子注入效率的方法，ZL201610591886.0，第一发明人

7.一种通过应力调控褶皱表面亲疏水性转变的方法及应用，ZL201611065992.9， 第一发明人

8.一种利用紫外光致亲水性判断HVPE外延生长蓝宝石衬底GaN掺杂类型的方法，ZL201610205932.9， 第一发明人

9.一种利用发光二极管阵列实现微悬臂梁高阶共振激发的方法及应用，ZL201510014828， 第一发明人

10.基于缺陷诱导的半导体表面高度有序贵金属纳米结构阵列的制备方法及其应用，ZL201510127932.7， 第一发明人

11.一种利用纳米压痕技术提高发光二极管（LED）光提取效率的方法；ZL201410406995.1， 第一发明人

12.一种利用自生长贵金属等离基元纳米结构及其提高GaInP基太阳能电池光吸收的应用，ZL201410157971.7， 第一发明人