一、仪器简介
1、型号：
2、生产厂家：芷云光电（上海）有限公司
3、主要技术指标：
纵向扫描范围：0～20mm
表面形貌重复性：＜0.15nm；
RMS重复性：0.1nm；
光学分辨率：0.52μm；
空间采样0.17μm；
台阶高度重复性：≤0.3%@1σ；
物镜：10X，50X；
台阶精度：≤1%；
样品台：电动X，Y平移(100mm)
二、设备功能（测试项目）
器件表面加工质量检测与表征
三、样品要求
精抛块体样品
四、收费标准
测试项目 |
收费单位 |
校内 |
校外 |
常规测试同一样品三点测试 |
常规 |
样 |
100 |
200 |
Mapping扫描 |
小时 |
200 |
400 |
自主测试 |
小时 |
150 |
—— |
五、联系方式
1、联系人：
李扬，18562521768，liyyyyy@sdu.edu.cn
2、设备放置地点：
济南(中心校区)功能材料楼230
