一、仪器简介

1、型号：ESCALAB Qi

2、生产厂家：ThermoFisher SCIENTIFIC

3、主要技术指标：

（1）普通XPS：

单色化Al Kα X射线源，束斑200μm～900μm之间连续可调，对Ag3d5/2峰，半高宽优于0.45eV。

（2）紫外光电子能谱（UPS）：能量分辨率：Ag费米边不大于100 meV。

（3）XPS深度剖析：

单离子刻蚀模式，刻蚀能量：500-4k eV连续可调；

团簇离子刻蚀模式，团簇离子数目：75-2000个，刻蚀能量：2keV-8keV。

（4）原位光照：氙灯光源波长范围: 200 nm-2200 nm。

（5）成像XPS：对Ag3d5/2空间分辨率优于1µm。

二、设备功能（测试项目）

1、普通XPS：对样品表面进行全谱和指定元素窄谱扫描，可实现对样品表面（＜10nm）元素组成及化学态的定性及半定量分析。

2、UPS：通过测量价层电子的能量分布从中获得有关价电子结构的各种信息。

3、深度剖析（刻蚀）：通过离子溅射剥离测试区域最外层，对样品进行逐层分析；可以得到各元素及其各化学态含量随样品深度（刻蚀时间）的变化。

4、原位光照：光照下的XPS测试。

5、成像XPS：对样品进行微区分析，获得微区元素及化学态的分布。

三、样品要求

1、XPS样品：

（1）样品不吸水，在超高真空中及X光照射下不分解、不释放气体。

（2）样品可以为粉末、薄膜或块状固体。

其中：薄膜样品背面做好标记；

块状样品尺寸不超过：5 mm×5 mm×2mm。

2、UPS样品：

（1）应为新鲜制备的块体或薄膜，表面无污染，推荐尺寸1cm*1cm，膜厚小于2mm，块体厚度小于5mm。

（2）样品背面做好标记。

（3）粉末、导电性差、易挥发、对紫外光敏感等状态下的样品不能测试。

3、深度剖析（刻蚀）：样品为片/块体，其他参照XPS样品要求。

4、原位光照、成像XPS：参照XPS样品要求。

四、收费标准

1、常规XPS测试：

校内：全谱100元/个，单个元素高分辨谱50元/个。

校外：全谱200元/个，单个元素高分辨谱100元/个。

2、UPS测试：

校内：500元/样；校外：1000元/样

3、深度剖析（刻蚀）：

校内：600元/小时；校外：1200元/小时

4、原位光照测试

校内：800元/样；校外：1600元/样

（默认采谱2次，即黑暗和光照条件下各一次）

5、成像XPS：

校内：500元/小时；校外：1000元/小时

6、增加点数的测试，包括但不限于增加测试点、线扫描、面扫描、增加深度剖析点数、团簇离子刻蚀等，依据实际耗用设备机时另行计收，不足半小时的，按半小时计费。

五、联系方式

1、联系人：

蒋老师，0531-88364068，jianghechun001@126.com，XPS QQ群：450292183

2、设备放置地点：功能晶体材料楼528房间