一、仪器简介

1、型号：GPIXP/D

2、生产厂家：美国ZYGO公司

3、主要技术指标：

测量光束直径：4英寸（102mm），可选6英寸（152mm）。

激光类型：632.8nm的II级氦-氖激光。

测量精度：平面标准镜头精度为λ/20@632.8nm。

测量重复性：可达λ/100@632.8nm，RMS重复性为2λ/10000@632.8nm。

数据采样：标准为640x480像素，8位，可拓展至1024x1024像素。

条纹分辨率：180条，可升级到340条。

数据采集时间：高分辨率为173mS，低分辨率为93mS。

系统分辨率：大于λ/8000。

二、设备功能（测试项目）

1、面形检测：可对平面、球面元件的面形进行高精度检测，测量其平整度、曲率等参数。

2、角度测量：能测量平面楔角、直角棱镜的直角偏差和任意角度的加工偏差。

3、材料检测：用于光学材料均匀性测量，以及角锥角度和面形偏差测量等。

三、样品要求

1、样品状态：双面高精度抛光，两面夹角（~15’）。

2、样品无毒、且在高功率X射线照射下（约70°左右）不易挥发、不易爆、不易燃。

四、收费标准

1、晶体光学均匀性测试1600/次。测试面积超过Ф80 cm的3000元/次。

2、每测一个区域，按一个数据点收费。

3、加急×1.5。

五、联系方式

1、联系人：尹延如，yyr@sdu.edu.cn

2、设备放置地点：山东大学（中心校区）功能晶体材料楼超净间230