一、仪器简介

1、型号：DEPOX

2、生产厂家：ULVAC KIKO株式会社

3、主要技术指标：

极限真空压力：~4.0 × 10⁻⁴ Pa（常规），使用液氮冷阱时可达~2.0 × 10⁻⁴ Pa

抽气时间：约10 min可降至4.0 × 10⁻³ Pa

真空泵系统：涡轮分子泵345 L/s +涡旋干式前级泵250 L/min

真空计：皮拉尼真空计+电离真空计双重配置

蒸发电源：PSE-150C电阻加热源，0–10 V控制，最大150 A

腔体尺寸：玻璃钟罩腔体，约φ300 mm×300 mm高

基板尺寸：最大可达140 mm

源-基板距离：约200 mm

电源需求：主体机单相100 V（0.9 kVA），蒸发电源单相200 V（1.5 kVA

二、设备功能（测试项目）

1、薄膜沉积方式：电阻加热蒸发（Resistance Heating Evaporation）；

2、成膜能力：可实现金属、半导体、有机分子及部分无机盐的蒸发沉积；

3、多层膜沉积：仅支持单源蒸发；

4、冷阱配置：可选液氮冷阱以提高真空质量，降低杂质与水汽干扰；

5、端口设计：机身配备多个馈通端口，可扩展基片加热器、气氛引入或监测装置。

三、样品要求

1、基板：需耐高真空和一定热辐射冲击，尺寸不超过140 mm；

2、蒸发源材料：适合电阻加热方式蒸发的金属、金属卤化物或有机小分子；

3、膜厚控制：可通过石英晶体膜厚监控器等配套装置实现精确控制；

4、使用环境：避免吸湿性或易分解材料长时间暴露在空气中，应配合干燥和预处理工序。

四、收费标准

1、150元/小时；

五、联系方式

1、联系人：刘阳；15168890850；liuyangicmsdu@gmail.com；

2、设备放置地点：功能材料楼226；