一、仪器简介

1、型号：EPMA-1720H

2、生产厂家：日本岛津

3、主要技术指标：本设备具备波谱仪（WDS）可以解决普通扫描电镜难以检测的B、C、N、O等元素；可以提供精确元素含量分析；有效区分各类稀土元素的分布及含量特征；对金属样品第二相分布特征表征效果远远高于能谱仪（EDS）。

主要性能参数：

1)电子枪：钨丝灯；

2)二次电子像分辨率：5nm；

3)背散射电子像分辨率：20nm；

4)分析元素范围：4Be（铍）-92U（铀）；

5)定量分析精度：主要元素（含量≥5wt%）优于1wt%，次要元素（含量1wt%）优于5%，痕量元素（含量0.01wt%）约10%，绝对重复性可做到100ppm级（0.01wt%）；

6)元素含量检出限：50-100 ppm；

7)X射线取出角：52.5°；

8)罗兰圆半径：4英寸（101.6mm)；

9)分析速度：自动全元素定性分析时间≤60s，可自动识别0.1wt%以上的元素；

二、设备功能（测试项目）

1、表面显微形貌观测；

2、4Be（铍）-92U（铀）元素的定量与定性分析；

3、大面积到微区的点分析、线分析和面分析；

三、样品要求

1、样品尺寸：所分析的样品应为块状或颗粒状，定量分析的样品要均质。固体样品（直径不超过25mm，厚度不超过10mm），粉末样品（最低1微克）

2、导电及导热性能：具有较好的电导和热导性能；导电性或导热性较差样品，需表面均匀喷镀金膜或碳膜增加样品表面的导电性与导热性；

3、样品表面光滑平整：样品表面必须抛光，如果表面凸凹不平则可能使射出的X射线受到不规则的吸收，因此，要用抛光良好的光片或金相表面进行电子探针分析；

4、磁性：强磁性样品无法检测；

5、毒性：毒性样品无法检测；

6、挥发性：挥发性样品无法检测；

7、稳定性：常温、常压及真空条件下稳定。

四、收费标准

1、测试：600/小时（校内半价）；

2、喷金/喷碳：喷金100/批次喷碳200/批次（视样品尺寸，单批次或可喷涂多个样品）；

3、制样：氩离子平面抛光600/样品。

五、联系方式

1、联系人：王老师，0531-88364068

2、设备放置地点：功能晶体材料104室