一、仪器简介

1、型号：Dimension Icon

2、生产厂家：布鲁克

3、主要技术指标：

XY扫描范围：最大75 μm × 75 μm。

Z扫描范围：最大5 μm。

噪音水平（关键指标）：

Z噪音（闭环）：< 35 pm RMS（在0.5-2.5 kHz带宽内）。垂直方向上的探测灵敏度极高，能够分辨出样品表面亚埃级（0.1纳米）的起伏。

XY噪音（闭环）：< 150 pm RMS，保证了水平方向的高精度。

二、设备功能（测试项目）

1、表面形貌与粗糙度

2、表面定量纳米力学测试（模量、粘附力、形变量）

3、电学性能测试（导电力、开尔文探针力、压电力显微镜）

4、磁学性能测试

三、样品要求

测试样品要求无毒、无污染、无挥发性、不潮解，样品大小不超过4英寸，厚度不超过1.5 cm，样品表面粗糙度不超过100 nm，测试台阶高度不超过5 um。

四、收费标准

1、培训自测收费标准（包括上机培训）按照机时计费--每小时200元。（每小时大概可测2-6个形貌图）；

2、预约测试间管理人员测试的收费标准：a.普通形貌、高度、粗糙度每个样品200元，包括测试1-2区域，每超过一个区域多加50元。b.电学力学磁学测试，每个样品500元，每超过一个区域多加100元。

五、联系方式

1、联系人：

路斌，郭可欣，15169139950，1543084942@qq.com

何老师，the@sdu.edu.cn

2、设备放置地点：功能晶体材料楼339